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產品簡介
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隨著半導體技術的電子技術工藝的發展，電子產品都往小型化，輕薄化發展。iWatch的一經推出，穿戴電子產品成為了一個新的電子設備應用潮流。隨著電子產品的小型化，器件體積越做越小，空間就緊湊起來，這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸，現在需要管控3D的尺寸，而且精度要求都在微米級別，這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產品質。
卓立漢光的3D形貌測試儀應運而生，這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術，能夠高精度還原產品的3D結構，對肉眼不可見的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度，微米級別的精度和*的穩定性，一經推出立馬成為精密生產商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃，半導體缺陷檢測和多層光學薄膜厚度檢測，就是這款產品的主要應用領域。
卓立漢光長期專注于光譜技術的應用研發，3D形貌測試儀就是常年實踐積累的成果（利號：CN207556477U）。該項技術，具有以下優點：
| 技術 | 線性共焦光譜技術 | 點測技術 | 激光掃描 | 3D相機 |
| 速度 | 1000 line/s | 1000 point/s | 1000 line/s | 多角度拍照快 |
| 掃描寬度 | 6.5mm/20mm | 點 | 可選 | 大 |
| 分辨率 | 1um | 1um | 30um | 100um |
| 界面層數 | 多層 | 多層 | 表面 | 表面 |
| 建模 | 否 | 否 | 否 | 是 |
| 數據量 | 大 | 大 | 少 | 少 |
三維表面形貌測量儀主要特點有：
1、非接觸性測量；
2、線掃描，高效率；
3、微米級精度；
4、滿足透明面及高對比度表面測試；
5、支持二次開發；
三維表面形貌測量儀主要應用
1、精密部件3D尺寸及段差測試；
2、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試；
3、3D玻璃缺陷檢測；
4、半導體表面缺陷測試；
5、多層薄膜厚度測試；
3D形貌測試儀產品型號及規格
|
| HawkEye-1300 | HawkEye-5000 |
| 方式 | 共焦光譜 | 共焦光譜 |
| 精度 | 1um | 8um |
| 重復性 | ±0.3um | ±4um |
| 線掃寬度 | 6.5mm | 20mm |
| Z軸量程范圍 | 1.3mm | 5mm |
| 掃描速度 | 300line/s(Max:1000line/s) | 300line/s(max:1000line/s) |
| 重量 | 5Kg | 8Kg |
| 尺寸 | 460X300X140mm | 460X300X140mm |
010-5637 0168,696
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